真空部件
| VDP35干式真空泵优势 |
● 轴承罩：可确保将制程气体与轴承润滑剂相分离，以确保清洁的真空环境，并避免制程气体中的污染物进入润滑剂中，从而延长轴承的使用寿命。
● 变频器驱动：全球范围内泵性能完全相同、泵过载保护和远程启动/停止功能特性。
● 独特的轴向气隙电机：减小了整体泵尺寸，并且降低了功率和噪声。
● 简单的单端双涡旋设计：可实现在几分钟内完成维护工作，从而降低运行成本并尽可能延长正常运行时间。
● 变频器驱动：全球范围内泵性能完全相同、泵过载保护和远程启动/停止功能特性。
● 独特的轴向气隙电机：减小了整体泵尺寸，并且降低了功率和噪声。
● 简单的单端双涡旋设计：可实现在几分钟内完成维护工作，从而降低运行成本并尽可能延长正常运行时间。
| 使用范围 |
VDP35干式真空泵广泛应用于电子扫描显微镜-SEM、实验室工作台上真空、激光、气体回收和再循环、射束线和高能物理、分析仪器、涡轮分子前级泵、覆层、低温学、蒸馏/萃取/过滤、冷冻干燥、熔炉、脱气/硫化-油、凝胶体干燥、冷冻制造、研发、旋转离心蒸发器、氦检漏仪、负载锁和传输腔、稀有气体再循环、SEM/FIB（离子束维修）、稀有气体回收、溶剂回收。
| 技术参数 |
|
VDP35 |
||
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额定转速 |
1750 |
rpm |
|
抽速 |
35 |
m3/h |
|
极限压力 |
10x10-3 |
mbar |
| 电压 | 220 | V |
| 频率 | 50/60 | Hz |
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电机功率 |
0.63 |
kW |
|
重量 |
48 |
kg |
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进口法兰 |
KF40 |
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|
出口法兰 |
KF25 |
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噪声 |
57 |
dB |
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振动 |
<4.5 |
mms-1 |
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泄漏率 |
＜1x10-6 |
mbarls-1 |
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运行环境温度 |
10 ～ 40 |
℃ |
