操作环境限于空气、惰性气体及真空环境。
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超高真空闸阀
超高真空闸阀主要由三个组件组成:分别为驱动器、阀门与阀体;接口端可配置KF、ISO、ANSI与CF法兰。
应用
超高真空闸阀适用于真空排气系统,超高真空应用的抽气系统,半导体技术,同步辐射中心与学术研究系统等。
特点
● 设计可靠、成熟
● 不含润滑剂,最高可烘烤至250℃
● 金属阀帽密封
● 具有自动防故障功能
● 不锈钢阀体
● 进给机构以焊接金属波纹管密封
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